第229章 步进式光刻机成功！ (第3/3页)

 其中套刻精度测试已经在今早完成。

    这会儿上午八点多，研发处的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此处。

    当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时，屋外沈永健也带着周克勤等人踏入。

    卓邵文才将数据记录，目光便立刻望向他，干裂的嘴唇动了动，带着振奋的沙哑声线在车间内响起。

    “畸变率0.12%，场曲误差±0.18微米…”

    “沈工！畸变与场曲测试，照明均匀性测试皆达标！”

    沈永健接过他手中递来的测试报告数据，一共五项检测，数据悉数达标，甚至个别几项还超过了他设计时的理论预期。

    在反复检测之后，沈永健最终点了点头。

    在众人希冀的目光下，最终振奋且坚定的开口宣布道。

    “同志们，咱们第二代步进式光刻机，研制完成！”

    “依照目前的光刻机性能，绝对是国际第一！”

    步进式光刻机，一个划时代的光刻机。

    在眼下国际上还只有接触式光刻机，甚至发达国家的个别研究所还在用“土光刻机”的背景下。

    这台步进式光刻机，绝对是里程碑式的进步。

    代表着国内光刻工艺第一次超越各国，坐上国际第一的位置上！

    “呼~！”

    卓邵文当下长舒了口气。

    光刻机的重压一直由他担着，四个月的各单位组织联系，协调生产与检测工作。

    直到今天，在沈永健这个眼下国内微电子领域的权威者口中宣布落成。

    当下最先感到的是一阵轻松，原先挺直绷紧的脊背也随着长叹松懈下来。

    从最早的土光刻机，到如今的第二代光刻机，他早已将研究重心全放在这一块上。

    哪怕实际二代光刻机的图纸并非是他主导，但能辅助设计最终由自己落实，他心中也早已满足。

    松懈下不过片刻，心中一股自豪感油然而生！

    双拳紧紧攥着，目光再度投向沈永健。

    只是沈永健这会儿可没像他这般放松，只是等众人稍稍缓和后便立刻下达指令道。

    “准备流片！”

    ……


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